激光避障雷達(dá) AS-33C系列
 

場(chǎng)景需求：

此工位位于硅片氧化工藝前端運(yùn)料工序，激光雷達(dá)安裝在將硅片花籃運(yùn)送到后氧化機(jī)上料處的AGV小車(chē)上，前后各安裝一個(gè)，起到避障作用，要求檢測(cè)2米以?xún)?nèi)的障礙物，要求響應(yīng)速度在80ms以?xún)?nèi)

項(xiàng)目難點(diǎn)：

1. 車(chē)間環(huán)境較為復(fù)雜，使得設(shè)備需要適應(yīng)人機(jī)混行、多車(chē)混行的工作場(chǎng)景

2. 需具備設(shè)備自檢及異常報(bào)警功能

解決方案：

1. 明治AS-33C系列為避障型激光雷達(dá)，采用TOF測(cè)量原理，避障性能穩(wěn)定；3個(gè)避障區(qū)域設(shè)定，滿(mǎn)足車(chē)輛運(yùn)行，減速，停止三個(gè)狀態(tài)，檢測(cè)精度±2cm

2. 可對(duì)270°范圍進(jìn)行精準(zhǔn)測(cè)量，在AGV小車(chē)前后各安裝一個(gè)，使得設(shè)備避障無(wú)盲區(qū)

3. 具備自檢功能，可檢測(cè)激光雷達(dá)本身性能是否異常，避免出現(xiàn)意外故障的情況下設(shè)備仍進(jìn)行運(yùn)作從而造成不良后果
 

場(chǎng)景需求：

需要在防護(hù)門(mén)上安裝傳感器來(lái)檢測(cè)門(mén)是否關(guān)緊，檢測(cè)距離要求7.5mm，檢測(cè)重復(fù)精度0.1mm以?xún)?nèi)

解決方案：

1.為埋入型電感式方型接近，腰型安裝孔，安裝簡(jiǎn)單

2.檢測(cè)距離最高為8mm，使用M18螺紋安裝，節(jié)省空間
 

場(chǎng)景需求：

防止機(jī)械手抓取硅片過(guò)程中人員誤入設(shè)備工作區(qū)域?qū)е聜?，要求響?yīng)時(shí)間小于20ms，檢測(cè)穩(wěn)定

解決方案：

1.采用明治經(jīng)濟(jì)型光幕BKL系列，有多種光軸間距和光軸數(shù)可供選擇，包括10mm，20mm，40mm，這里需要保護(hù)人體，我們推薦選擇40mm光軸間距

2.響應(yīng)時(shí)間快速，小于10ms，一旦人體進(jìn)入立刻發(fā)送信號(hào)驅(qū)動(dòng)機(jī)器暫停，起到保護(hù)人體的作用

3.抗光干擾能力較強(qiáng)，最大能承受10000lux干擾，不受現(xiàn)場(chǎng)其他雜光干擾
 

場(chǎng)景需求：

此工位位于硅片氧化工藝中，接收機(jī)械手運(yùn)送的物料，對(duì)硅片堆疊高度有要求，需要在物料堆疊到指定高度后停止堆疊；檢測(cè)距離250mm，有LED照明燈，環(huán)境光照較強(qiáng)，會(huì)對(duì)傳感器造成干擾，要求響應(yīng)時(shí)間小于1ms，另外客戶(hù)對(duì)于檢測(cè)精度要求高，需要重復(fù)精度小于0.5mm，于此同時(shí)，此設(shè)備還會(huì)生產(chǎn)多種類(lèi)型的硅晶片，要求一款傳感器可以兼容所有產(chǎn)品

項(xiàng)目難點(diǎn)：

對(duì)傳感器抗光干擾能力有較高的要求，需要能同時(shí)抵抗住硅片的高反光和周?chē)鷱?qiáng)光的干擾

解決方案：

1. 使用兩個(gè)背景抑制型光電傳感器ESB-B30N系列平行安裝于硅片堆疊限位高度上下，不受背景顏色影響，可以保證多種類(lèi)型硅晶片的檢測(cè)兼容

2. 傳感器檢測(cè)距離可以達(dá)到250mm，在此場(chǎng)景下可滿(mǎn)足客戶(hù)需求，檢測(cè)距離可調(diào)，可通過(guò)頂部旋鈕調(diào)節(jié)，安裝調(diào)試方便

3. 響應(yīng)時(shí)間小于1ms ，可在穩(wěn)定檢測(cè)的同時(shí)保證檢測(cè)效率，光斑小檢測(cè)精度高                                                

4. 抗光干擾能力較強(qiáng)，陽(yáng)光照射可達(dá)到10000lux，白熾燈照射可達(dá)到3000lux，抗雜光干擾能力強(qiáng)，不受機(jī)械手下方的地板面、設(shè)備的金屬面、門(mén)窗的玻璃面等環(huán)境及硅片反光干擾

5. 傳感器可零距離并排安裝，近距離并排安裝不會(huì)發(fā)生相互干擾的狀況