而傳感器的選擇應(yīng)用也是設(shè)備商提升競(jìng)爭(zhēng)力的一大利器,隨著生產(chǎn)需求的升級(jí),傳感器的方案也在不斷升級(jí)。目前,明治已經(jīng)陸續(xù)向大家分享了光伏排版機(jī)、花籃傳輸設(shè)備這些關(guān)于光伏設(shè)備的方案,揭秘了一個(gè)又一個(gè)光伏產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)車(chē)間的傳感器升級(jí)技術(shù),本期小明就來(lái)繼續(xù)給大家分享光伏設(shè)備中——氧化工藝的傳感器應(yīng)用解決方案。
氧化工藝是將硅片放置于氧氣或水汽等氧化劑的氛圍中進(jìn)行高溫?zé)崽幚恚诠杵砻姘l(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成氧化膜的過(guò)程。
1、前端運(yùn)料避障
激光避障雷達(dá) AS-33C系列
場(chǎng)景需求:
此工位位于硅片氧化工藝前端運(yùn)料工序,激光雷達(dá)安裝在將硅片花籃運(yùn)送到后氧化機(jī)上料處的AGV小車(chē)上,前后各安裝一個(gè),起到避障作用,要求檢測(cè)2米以?xún)?nèi)的障礙物,要求響應(yīng)速度在80ms以?xún)?nèi)
項(xiàng)目難點(diǎn):
1. 車(chē)間環(huán)境較為復(fù)雜,使得設(shè)備需要適應(yīng)人機(jī)混行、多車(chē)混行的工作場(chǎng)景
2. 需具備設(shè)備自檢及異常報(bào)警功能
解決方案:
1. 明治AS-33C系列為避障型激光雷達(dá),采用TOF測(cè)量原理,避障性能穩(wěn)定;3個(gè)避障區(qū)域設(shè)定,滿(mǎn)足車(chē)輛運(yùn)行,減速,停止三個(gè)狀態(tài),檢測(cè)精度±2cm
2. 可對(duì)270°范圍進(jìn)行精準(zhǔn)測(cè)量,在AGV小車(chē)前后各安裝一個(gè),使得設(shè)備避障無(wú)盲區(qū)
3. 具備自檢功能,可檢測(cè)激光雷達(dá)本身性能是否異常,避免出現(xiàn)意外故障的情況下設(shè)備仍進(jìn)行運(yùn)作從而造成不良后果
2、防護(hù)門(mén)感應(yīng)
接近傳感器 TQN18系列
場(chǎng)景需求:
需要在防護(hù)門(mén)上安裝傳感器來(lái)檢測(cè)門(mén)是否關(guān)緊,檢測(cè)距離要求7.5mm,檢測(cè)重復(fù)精度0.1mm以?xún)?nèi)
解決方案:
1.為埋入型電感式方型接近,腰型安裝孔,安裝簡(jiǎn)單
2.檢測(cè)距離最高為8mm,使用M18螺紋安裝,節(jié)省空間
3、區(qū)域安全防護(hù)
安全光幕 BKL系列
場(chǎng)景需求:
防止機(jī)械手抓取硅片過(guò)程中人員誤入設(shè)備工作區(qū)域?qū)е聜?,要求響?yīng)時(shí)間小于20ms,檢測(cè)穩(wěn)定
解決方案:
1.采用明治經(jīng)濟(jì)型光幕BKL系列,有多種光軸間距和光軸數(shù)可供選擇,包括10mm,20mm,40mm,這里需要保護(hù)人體,我們推薦選擇40mm光軸間距
2.響應(yīng)時(shí)間快速,小于10ms,一旦人體進(jìn)入立刻發(fā)送信號(hào)驅(qū)動(dòng)機(jī)器暫停,起到保護(hù)人體的作用
3.抗光干擾能力較強(qiáng),最大能承受10000lux干擾,不受現(xiàn)場(chǎng)其他雜光干擾
4、機(jī)械手硅片抓取感應(yīng)
背景抑制光電傳感器 ESB-S10系列
場(chǎng)景需求:
此工位位于硅片氧化工藝中中段,需要安裝傳感器檢測(cè)機(jī)械手是否抓取到硅片,以便進(jìn)入下一工序,要求檢測(cè)穩(wěn)定,檢測(cè)距離50mm
解決方案:
1. 在機(jī)械手上安裝3個(gè)背景抑制型光電傳感器ESB-S10系列,不受背景顏色影響,可穩(wěn)定檢測(cè)任何顏色物料
2. 檢測(cè)距離為5-100mm,可滿(mǎn)足需求
5、硅片堆疊高度控制
背景抑制型光電 ESB-B30系列
場(chǎng)景需求:
此工位位于硅片氧化工藝中,接收機(jī)械手運(yùn)送的物料,對(duì)硅片堆疊高度有要求,需要在物料堆疊到指定高度后停止堆疊;檢測(cè)距離250mm,有LED照明燈,環(huán)境光照較強(qiáng),會(huì)對(duì)傳感器造成干擾,要求響應(yīng)時(shí)間小于1ms,另外客戶(hù)對(duì)于檢測(cè)精度要求高,需要重復(fù)精度小于0.5mm,于此同時(shí),此設(shè)備還會(huì)生產(chǎn)多種類(lèi)型的硅晶片,要求一款傳感器可以兼容所有產(chǎn)品
項(xiàng)目難點(diǎn):
對(duì)傳感器抗光干擾能力有較高的要求,需要能同時(shí)抵抗住硅片的高反光和周?chē)鷱?qiáng)光的干擾
解決方案:
1. 使用兩個(gè)背景抑制型光電傳感器ESB-B30N系列平行安裝于硅片堆疊限位高度上下,不受背景顏色影響,可以保證多種類(lèi)型硅晶片的檢測(cè)兼容
2. 傳感器檢測(cè)距離可以達(dá)到250mm,在此場(chǎng)景下可滿(mǎn)足客戶(hù)需求,檢測(cè)距離可調(diào),可通過(guò)頂部旋鈕調(diào)節(jié),安裝調(diào)試方便
3. 響應(yīng)時(shí)間小于1ms ,可在穩(wěn)定檢測(cè)的同時(shí)保證檢測(cè)效率,光斑小檢測(cè)精度高
4. 抗光干擾能力較強(qiáng),陽(yáng)光照射可達(dá)到10000lux,白熾燈照射可達(dá)到3000lux,抗雜光干擾能力強(qiáng),不受機(jī)械手下方的地板面、設(shè)備的金屬面、門(mén)窗的玻璃面等環(huán)境及硅片反光干擾
5. 傳感器可零距離并排安裝,近距離并排安裝不會(huì)發(fā)生相互干擾的狀況